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Chemical mechanical glass polishing with cerium oxide: Effect of selected physico-chemical characteristics on polishing efficiency 氧化铈化学机械玻璃抛光:选定物理化学特性对抛光效率的影响
相关领域
抛光
材料科学
化学机械平面化
X射线光电子能谱
煅烧
氧化物
化学工程
结晶度
铈
氧化铈
化学状态
冶金
复合材料
化学
催化作用
生物化学
工程类
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| 其它 |
期刊:Wear 作者:Pavel Janoš; Jakub Ederer; Věra Pilařová; Jiří Henych; Jakub Tolasz; et al 出版日期:2016-06-02 |
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