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 SR-FABNet: Super-Resolution branch guided Fourier attention detection network for efficient optical inspection of nanoscale wafer defects SR-FABNet：用于纳米级晶圆缺陷高效光学检测的超分辨率分支引导傅立叶注意力检测网络
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期刊：Advanced Engineering Informatics 作者：Leisheng Chen; Kai Meng; Hangying Zhang; Junquan Zhou; Peihuang Lou 出版日期：2025-02-18 |
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