SR-FABNet: Super-Resolution branch guided Fourier attention detection network for efficient optical inspection of nanoscale wafer defects

薄脆饼 纳米尺度 材料科学 傅里叶变换 晶圆规模集成 分辨率(逻辑) 光学 纳米技术 光电子学 计算机科学 人工智能 物理 量子力学
作者
Leisheng Chen,Kai Meng,Hangying Zhang,Junquan Zhou,Peihuang Lou
出处
期刊:Advanced Engineering Informatics [Elsevier BV]
卷期号:65: 103200-103200 被引量:8
标识
DOI:10.1016/j.aei.2025.103200
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
珂儿完成签到,获得积分10
3秒前
3秒前
深情安青应助开心的怜阳采纳,获得10
3秒前
mos2003完成签到,获得积分10
4秒前
1234完成签到,获得积分10
6秒前
7秒前
Zhang完成签到 ,获得积分10
8秒前
8秒前
Aieur完成签到,获得积分10
8秒前
orixero应助顺利冷雪采纳,获得10
9秒前
张润麒发布了新的文献求助30
9秒前
星辰大海应助富贵采纳,获得10
9秒前
武陵人发布了新的文献求助10
10秒前
未来星发布了新的文献求助10
10秒前
汉堡包应助山狮子采纳,获得10
13秒前
14秒前
1234关注了科研通微信公众号
16秒前
bai发布了新的文献求助10
17秒前
18秒前
思源应助未来星采纳,获得10
19秒前
清秀剑通发布了新的文献求助10
20秒前
乐观的颦发布了新的文献求助10
21秒前
糖诗完成签到 ,获得积分10
22秒前
24秒前
quentin完成签到 ,获得积分10
25秒前
26秒前
碧蓝颖完成签到 ,获得积分10
27秒前
核桃发布了新的文献求助10
30秒前
31秒前
陈小子完成签到 ,获得积分10
32秒前
顺利酸奶完成签到 ,获得积分10
34秒前
yaoyao发布了新的文献求助10
34秒前
35秒前
陈巧玲完成签到,获得积分10
36秒前
蓝天发布了新的文献求助10
36秒前
小飞完成签到,获得积分10
36秒前
hhhm完成签到 ,获得积分10
37秒前
今后应助呢呢采纳,获得10
38秒前
小飞发布了新的文献求助10
39秒前
cdercder应助Zachary采纳,获得10
40秒前
高分求助中
液晶指向矢仿真分析数据集 8888
Invited Discussant 63O and 64O 1000
Ideology and Meaning-Making under the Putin Regime 750
Advanced Memory Technology 500
Petrology and Plate Tectonics 500
Writing Systems 500
A Handbook of User Experience Research & Design in Libraries 400
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 计算机科学 化学工程 生物化学 物理 内科学 复合材料 催化作用 光电子学 物理化学 电极 细胞生物学 基因 遗传学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 6866327
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 8568912
关于积分的说明 18219081
捐赠科研通 6236875
什么是DOI,文献DOI怎么找? 3049614
关于科研通互助平台的介绍 2052146
邀请新用户注册赠送积分活动 2027405