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 Low-loss and low-temperature Al2O3 thin films for integrated photonics and optical coatings 相关领域
光子学
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光学
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Pooya Torab Ahmadi; Michaël Chesaux; Jacek Wójcik; Dino Deligiannis; Peter Mascher; et al 出版日期：2024-10-01 |
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