Technology computer-aided design simulation of phonon heat transport in semiconductor devices

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标题	Technology computer-aided design simulation of phonon heat transport in semiconductor devices 半导体器件声子热输运的技术计算机辅助设计模拟相关领域声子材料科学晶体管工艺CAD 凝聚态物理半导体半导体器件格子（音乐）光电子学物理纳米技术化学电压量子力学声学生物化学计算机辅助设计图层（电子）
网址	https://doi.org/10.35848/1347-4065/abe3d4
DOI	10.35848/1347-4065/abe3d4 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Junichi Hattori; Tsutomu Ikegami; Koichi Fukuda 出版日期：2021-02-05
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