Low temperature growth of GaN single crystal films using electron cyclotron resonance plasma excited metalorganic vapor phase epitaxy

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标题	Low temperature growth of GaN single crystal films using electron cyclotron resonance plasma excited metalorganic vapor phase epitaxy 利用电子回旋共振等离子体激发金属有机气相外延低温生长GaN单晶薄膜相关领域电子回旋共振三甲基镓金属有机气相外延外延蓝宝石光致发光分析化学（期刊）兴奋剂材料科学薄膜 Crystal（编程语言）化学单晶光电子学光学激光器结晶学离子纳米技术图层（电子）物理有机化学程序设计语言色谱法计算机科学
网址	https://doi.org/10.1016/0022-0248(86)90309-x
DOI	10.1016/0022-0248(86)90309-x doi
其它	期刊：Journal of Crystal Growth 作者：Sakae Zembutsu; Toru Sasaki 出版日期：1986-09-01
求助人	姜姜在 2025-03-17 15:22:27 发布自北京，悬赏 10 积分
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