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 Design and fabrication of large-area tunable MOEMS-based shortwave infrared Fabry-Pérot filters 基于大面积可调谐MOEMS的短波红外Fabry-Pérot滤波器的设计与制作
相关领域
法布里-珀罗干涉仪
材料科学
光电子学
制作
红外线的
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光学
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波长
纳米技术
电极
电气工程
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病理
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医学
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Jyun-Hao Liao; Wen Wang; Chien-Ju Chen; Chia-Jui Yu; Meng‐Chyi Wu 出版日期：2019-04-10 |
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