| 标题 |
 Balancing surface quality and machining efficiency in fused-silica hemispherical resonator via combined magnetorheological polishing and chemical etching 相关领域
抛光
各向同性腐蚀
材料科学
表面粗糙度
蚀刻（微加工）
机械加工
化学机械平面化
制作
表面光洁度
磁流变液
化学过程
复合材料
质量（理念）
研磨
曲面（拓扑）
表面处理
谐振器
化学反应
光电子学
纳米技术
表面完整性
表面改性
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期刊：Journal of Materials Processing Technology 作者：Chuanzhen Ma; Henan Liu; Jian Cheng; Jingyang Guo; Jiangang Sun; et al 出版日期：2026-02-07 |
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