A Study of Parameters Related to the Etch Rate for a Dry Etch Process Using NF3/O2and SF6/O2

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标题	A Study of Parameters Related to the Etch Rate for a Dry Etch Process Using NF3/O2and SF6/O2
网址	http://downloads.hindawi.com/journals/amse/2014/608608.pdf
DOI	10.1155/2014/608608 doi
其它	期刊：Advances in Materials Science and Engineering 作者：Seon-Geun Oh; Kwang-Su Park; Young-Jun Lee; Jae-Hong Jeon; Hee-Hwan Choe; Jong-Hyun Seo 出版日期：2014-02-05
求助人	zhai957 在 2026-04-19 15:53:16 发布自广东，悬赏 10 积分
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