Low-resistivity molybdenum obtained by atomic layer deposition

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标题	Low-resistivity molybdenum obtained by atomic layer deposition
网址	https://doi.org/10.1116/6.0002804
DOI	10.1116/6.0002804 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Kees van der Zouw; Bernhard Y. van der Wel; Antonius A. I. Aarnink; R.A.M. Wolters; Dirk J. Gravesteijn; et al 出版日期：2023-08-28
求助人	Abigail 在 2026-09-03 11:50:19 发布自福建，悬赏 10 积分
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