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 XPS analysis and electrical conduction mechanisms of atomic layer deposition grown Ta2O5 thin films onto p-Si substrates 相关领域
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 作者：Spyridon Korkos; Nikolaos J. Xanthopoulos; Martha A. Botzakaki; Charalampos Drivas; Styliani Kennou; et al 出版日期：2020-03-13 |
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