Dry Etching of Al-Rich AlGaAs for Photonic Crystal Fabrication

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标题	Dry Etching of Al-Rich AlGaAs for Photonic Crystal Fabrication
网址	http://dx.doi.org/10.7567/jjap.50.04dg15
DOI	10.7567/jjap.50.04dg15 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Masaya Mochizuki; Yuta Kitabayashi; Tomoya Nakajima; Daiki Satoi; Fumitaro Ishikawa; et al 出版日期：2011-04-01
求助人	naiz 在 2026-07-16 22:26:10 发布自浙江，悬赏 30 积分
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