Study on a wideband, variable aperture, high resolution scatterometer for planar diffraction grating stray light measurement

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标题	Study on a wideband, variable aperture, high resolution scatterometer for planar diffraction grating stray light measurement
网址	https://www.osapublishing.org/viewmedia.cfm?URI=ao-56-2-247&...
DOI	10.1364/ao.56.000247 doi
其它	期刊：Applied Optics 作者：Jin Yang; Rui Zhang; Lu Yin; Ci Sun; Tianjiao Li 出版日期：2017-01-06
求助人	LL 在 2026-07-16 15:00:26 发布自山西，悬赏 10 积分
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