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 Reactive-sputter deposition and structure of RuO2 films on sapphire and strontium titanate 相关领域
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Q. Wang; Wayne L. Gladfelter; D. F. Evans; Yue Fan; A. Franciosi 出版日期：1996-05-01 |
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