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 Optimizing a novel green slurry by multifunctional pH regulators for ultra-smooth β-Ga2O3 (1 0 0) substrates via chemical mechanical polishing: experimental analysis, theoretical calculation and mechanistic insight 相关领域
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化学机械平面化
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期刊：Applied Surface Science 作者：Jiawei Wu; Baoguo Zhang 出版日期：2026-01-17 |
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(2025-6-4)
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