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标题
On La-doped HZO as a high-k dielectric for DRAM: Low EOT and approaches for its improvement
掺La HZO作为DRAM高k电介质的低EOT及其改进途径
相关领域
德拉姆 兴奋剂 光电子学 材料科学 电介质
网址
DOI
10.1063/5.0270167 doi
其它 期刊:Journal of Applied Physics
作者:Roman R. Khakimov; Аnna G. Chernikova; Andrey M. Markeev
出版日期:2025-06-09
求助人
Lijia_YAO 在 2025-12-27 16:08:35 发布自安徽,悬赏 10 积分
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