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Optimization of Sputtering Parameters and Their Effect on Structural and Electrical Properties of CAAC-IGZO Thin-Film Transistors 相关领域
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期刊:Electronic Materials Letters 作者:Jae Yu Cho; Jaeseung Jo; Parag R. Patil; Yong Tae Kim; Deok‐Yong Cho; et al 出版日期:2023-11-23 |
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