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标题
SiO2 atomic-layer fluorination-passivation for dual-material molybdenum/polypyrrole area-selective deposition and strategies for surface reactivation
钼/聚吡咯双材料区域选择性沉积的SiO2原子层氟化钝化及表面再活化策略
相关领域
聚吡咯 钝化 钼 原子层沉积 图层（电子） 材料科学 沉积（地质） 双层 对偶（语法数字） 纳米技术 化学工程 冶金 复合材料 聚合物 聚合 工程类 艺术 古生物学 文学类 生物 沉积物
网址
https://doi.org/10.1116/6.0004298
AI链接 aip.orgdoi.org
DOI
10.1116/6.0004298 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：Hwan Oh; Hyuenwoo Yang; N Carroll; Yujin Jang; Gregory N. Parsons
出版日期：2025-03-14
求助人
okiya 在 2025-12-19 14:45:41 发布自天津，悬赏 10 积分
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