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 Growth of conformal TiN thin film with low resistivity and impurity via hollow cathode plasma atomic layer deposition 空心阴极等离子体原子层沉积法生长低阻低杂质共形TiN薄膜
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Ha Young Lee; Jeong Hwan Han; Byung Joon Choi 出版日期：2024-02-29 |
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