Comparing the extreme ultraviolet performance of amorphous zeolitic imidazolate resists deposited by atomic/molecular layer deposition and spin coating

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标题	Comparing the extreme ultraviolet performance of amorphous zeolitic imidazolate resists deposited by atomic/molecular layer deposition and spin coating
网址	https://doi.org/10.1117/12.3090418
DOI	10.1117/12.3090418 doi
其它	期刊：Advances in Patterning Materials and Processes XLIII 作者：Kayley E. Waltz; Yurun Miao; Qi Zhang; Honggu Im; Bernhard Lüttgenau; et al 出版日期：2026
求助人	樊珩在 2026-05-31 22:21:29 发布自上海，悬赏 20 积分
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