Controlled Growth of Non-Uniform Arsenic Profiles in Silicon Reduced-Pressure Chemical Vapor Deposition Epitaxial Layers

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标题	Controlled Growth of Non-Uniform Arsenic Profiles in Silicon Reduced-Pressure Chemical Vapor Deposition Epitaxial Layers
网址	https://doi.org/10.1007/s11664-009-0897-x
DOI	10.1007/s11664-009-0897-x doi
其它	期刊：Journal of Electronic Materials 作者：M. Popadić; T. L. M. Scholtes; W. de Boer; F. Sarubbi; L. K. Nanver 出版日期：2009
求助人	circlo 在 2026-06-02 17:27:13 发布自江苏，悬赏 10 积分
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