Size-dependent oxidation behavior for the anomalous initial thermal oxidation process of Si

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标题	Size-dependent oxidation behavior for the anomalous initial thermal oxidation process of Si 相关领域氧化法热氧化动力学过程（计算）硅氧化物大气温度范围材料科学速率方程热的航程（航空）热力学化学化学工程冶金物理计算机科学复合材料量子力学工程类操作系统
网址	https://doi.org/10.1063/1.3089794
DOI	10.1063/1.3089794 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Hao Cui; Yu Sun; Gongzheng Yang; Guo Yang; C. X. Wang 出版日期：2009-02-23
求助人	Murmansk 在 2025-10-31 12:49:27 发布自江苏，悬赏 10 积分
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