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Reducing the Process Energy through Applying Plasma in Atomic Layer Deposition of Solid Oxide Fuel Cell Electrolyte 在固体氧化物燃料电池电解质原子层沉积中应用等离子体降低工艺能量
相关领域
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期刊:Journal of the Korean Society for Precision Engineering 作者:Sanghoon Ji 出版日期:2019-05-01 |
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