Reducing the Process Energy through Applying Plasma in Atomic Layer Deposition of Solid Oxide Fuel Cell Electrolyte

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标题	Reducing the Process Energy through Applying Plasma in Atomic Layer Deposition of Solid Oxide Fuel Cell Electrolyte 在固体氧化物燃料电池电解质原子层沉积中应用等离子体降低工艺能量相关领域原子层沉积电解质氧化钇稳定氧化锆材料科学氧化物化学工程等离子体沉积（地质）固体氧化物燃料电池图层（电子）立方氧化锆纳米技术化学电极复合材料冶金陶瓷物理化学古生物学工程类物理生物量子力学沉积物
网址	https://doi.org/10.7736/kspe.2019.36.5.515
DOI	10.7736/kspe.2019.36.5.515 doi
其它	期刊：Journal of the Korean Society for Precision Engineering 作者：Sanghoon Ji 出版日期：2019-05-01
求助人	1中蓝在 2025-10-29 09:29:26 发布自云南，悬赏 10 积分
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