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  Study of Ge-rich GeSbTe etching process with different halogen plasmas 不同卤素等离子体刻蚀富锗GeSbTe工艺研究
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Yann Canvel; S. Lagrasta; Christelle Boixaderas; S. Barnola; Yann Mazel; et al 出版日期：2019-04-09 |
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