标题 |
![]() 氢化外延SiGe薄膜热氧化自形成SiGe氧化物、Ge和空隙多层
相关领域
材料科学
外延
退火(玻璃)
结晶度
氧化物
空隙(复合材料)
薄膜
化学工程
光电子学
图层(电子)
复合材料
纳米技术
冶金
工程类
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊:Vacuum 作者:Junyang An; Ruiling Gong; Xinyu Li; Ileana Florea; Lise Watrin; et al 出版日期:2023-04-06 |
求助人 |
孟孟孟
在
2025-08-28 21:33:35 发布,悬赏 10 积分
|
下载 | 暂无链接,等待应助者上传 |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|