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 Silicon carbide synthesized by RF magnetron sputtering in the composition of a double layer antireflection coating SiC/MgF2 射频磁控溅射法合成SiC/MgF2双层减反射涂层组合物中的碳化硅
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期刊：Optical Materials 作者：K. Kh. Nussupov; Н. Б. Бейсенханов; S. Keiinbay; Assanali Sultanov 出版日期：2022-04-28 |
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