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Optimization of Thermal Field on PVT Method of 8-inch SiC Crystal Growth by Numerical Simulation PVT法生长8英寸SiC晶体热场的数值模拟优化
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期刊:SSRN Electronic Journal 作者:Yinfang Zhu; Wataru Saito; Shin‐ichi Nishizawa 出版日期:2025-01-01 |
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