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 Miniaturized pH‐Sensitive Field‐Effect Capacitors with Ultrathin Ta2O5Films Prepared by Atomic Layer Deposition 相关领域
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期刊：physica status solidi (a) 作者：Denise Molinnus; Heiko Iken; Anna Lynn Johnen; Benjamin Richstein; Lena Hellmich; et al 出版日期：2022-01-22 |
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