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标题
Laser activation of Ultra Shallow Junctions (USJ) doped by Plasma Immersion Ion Implantation (PIII)
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2008.11.010
DOI
10.1016/j.apsusc.2008.11.010 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Vanessa Vervisch; Yannick Larmande; Philippe Delaporte; Thierry Sarnet; Marc Sentis; et al
出版日期：2009-03-01
求助人
kudward 在 2026-10-11 21:07:20 发布，悬赏 10 积分
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    科研通AI6.4 科研通AI6.4 机器人Lv12 上传了文件

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  • 4小时前

    kudward kudward Lv2 求助人 发起了本次求助

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