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标题
Catalytic conversion of carbon-containing impurity methyldichlorosilane to purify raw material trichlorosilane of polysilicon production
网址
https://doi.org/10.1039/d1re00569c
DOI
10.1039/d1re00569c doi
其它 期刊：Reaction Chemistry and Engineering
作者：Qiang Geng; Guoqiang Huang
出版日期：2022-01-01
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花生豆 在 2026-10-08 18:02:03 发布自新疆，悬赏 10 积分
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