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标题
Extending atomic layer deposition for use in next-generation piezoMEMS: Review and perspective
网址
https://doi.org/10.1116/6.0002431
DOI
10.1116/6.0002431 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：Nicholas A. Strnad; Daniel M. Potrepka; Brendan Hanrahan; Glen R. Fox; Ronald G. Polcawich; et al
出版日期：2023-07-11
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YRC 在 2026-10-31 14:03:56 发布自北京，悬赏 10 积分
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