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标题
Ion kinetic energy- and ion flux-dependent mechanical properties and thermal stability of (Ti,Al)N thin films
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DOI
10.1016/j.actamat.2023.118864 doi
其它 期刊:Acta Materialia
作者:Soheil Karimi Aghda; Damian M. Holzapfel; Denis Mušić; Yeliz Unutulmazsoy; Stanislav Mráz; et al
出版日期:2023-03-22
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