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标题
Reactive sputtering of TiOxNy coatings by the reactive gas pulsing process
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DOI
10.1016/j.surfcoat.2007.03.021 doi
其它 期刊:Surface and Coatings Technology
作者:N. Martin; J. Lintymer; J. Gavoille; J.M. Chappé; F. Sthal; et al
出版日期:2007-03-24
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