Hybrid approach for the design of mirror array to produce freeform illumination sources in immersion lithography

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标题	Hybrid approach for the design of mirror array to produce freeform illumination sources in immersion lithography
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S003040261...
DOI	10.1016/j.ijleo.2014.06.116 doi
其它	期刊：Optik 作者：Lidong Wei; Yanqiu Li 出版日期：2014-09-13
求助人	ghpi 在 2026-10-19 20:34:14 发布自四川，悬赏 10 积分
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