A Wafer Temperature Control System for Advanced Technology Node Manufacturing

已完结

文献求助详情

标题	A Wafer Temperature Control System for Advanced Technology Node Manufacturing
网址	http://dx.doi.org/10.1109/cstic64481.2025.11017909
DOI	10.1109/cstic64481.2025.11017909 doi
其它	期刊：2025 Conference of Science and Technology of Integrated Circuits (CSTIC) 作者：Xiao Wei; Hongfeng Wan; Sisheng Cao; Liangsheng Li; Erhu Zheng; et al 出版日期：2025-03-24
求助人	年轻问夏在 2026-07-09 11:41:15 发布，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

老实憨厚无套路，服务科研追梦人

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 沙海沉戈完成签到，获得积分0

2秒前; 桐桐上传了应助文件

19秒前; Wang发布了新的文献求助10

26秒前; xingxing上传了应助文件

30秒前; Duke_ethan完成签到，获得积分10

37秒前; 小马甲的应助被LucyMartinez采纳，获得10

40秒前; NattyPoe驳回了科研通AI6.2的应助

48秒前; 小马甲上传了应助文件

54秒前; LucyMartinez发布了新的文献求助10

59秒前; 房天川完成签到，获得积分10

1分钟前; XRH完成签到，获得积分10

1分钟前; 鑫鑫完成签到，获得积分10

1分钟前; NexusExplorer上传了应助文件

1分钟前; 忘忧Aquarius完成签到，获得积分0

1分钟前; 顺利大门发布了新的文献求助50

1分钟前; 清野完成签到，获得积分10

1分钟前; 不安的如天完成签到，获得积分10

1分钟前; 有延迟完成签到，获得积分10

2分钟前; 貔貅完成签到，获得积分10

2分钟前; 一天完成签到，获得积分10

2分钟前; 凌泉完成签到，获得积分10

2分钟前; 番茄黄瓜芝士片完成签到，获得积分10

2分钟前; xingxing上传了应助文件

2分钟前; gzhy完成签到，获得积分10

3分钟前; 丘比特的应助被Issei采纳，获得10

3分钟前; xingxing上传了应助文件

3分钟前; 冷静的尔竹完成签到，获得积分10

3分钟前; Axel完成签到，获得积分10

3分钟前; 丘比特上传了应助文件

3分钟前; 淡然的冬瓜完成签到，获得积分10

3分钟前; 粗暴的镜子完成签到，获得积分10

3分钟前; 佳言2009完成签到，获得积分10

3分钟前; muriel完成签到，获得积分0

3分钟前; creep2020完成签到，获得积分0

3分钟前; 一方完成签到，获得积分10

3分钟前; Issei发布了新的文献求助10

3分钟前; e746700020完成签到，获得积分10

3分钟前; 面汤完成签到，获得积分10

3分钟前; 科研通AI6.2上传了应助文件

3分钟前; 你都至少信我八分吧完成签到，获得积分10

4分钟前