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  Zirconium-Doped Hafnium Oxide High-k Dielectrics with Subnanometer Equivalent Oxide Thickness by Reactive Sputtering 相关领域
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期刊：Electrochemical and Solid-State Letters 作者：Jiong Yan; Yue Kuo; Jiang Lu 出版日期：2007-05-16 |
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