Extended model for chemically amplified resist with multiple photoacid generators

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标题	Extended model for chemically amplified resist with multiple photoacid generators
网址	https://doi.org/10.1116/6.0004381
DOI	10.1116/6.0004381 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：Di Yao; Lisong Dong; Yunyun Hao; Yayi Wei; Ming Fang 出版日期：2025-03-01
求助人	喜悦忆安在 2026-09-23 13:02:36 发布自河北，悬赏 20 积分
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