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标题
Three-dimensional Nanofabrication in Si Using Electron Beam Lithography
网址
https://doi.org/10.53829/ntr201402ra1
DOI
10.53829/ntr201402ra1 doi
其它 期刊：NTT Technical Review
作者：Kenji Yamazaki; Hiroshi Yamaguchi
出版日期：2014
求助人
柏不斜 在 2026-05-31 23:17:39 发布自北京，悬赏 10 积分
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