A Novel Method to Improve CMP Selectivity by Ultra-High-Dose Ion Implantation

已完结

文献求助详情

标题	A Novel Method to Improve CMP Selectivity by Ultra-High-Dose Ion Implantation
网址	https://doi.org/10.23919/IWJT59028.2023.10175168
DOI	10.23919/IWJT59028.2023.10175168 doi
其它	期刊：2023 21st International Workshop on Junction Technology (IWJT) 作者：S. Yuan; K. Omori; T. Yamaguchi; T. Ide; S. Muranaka; M. Inoue 出版日期：2023
求助人	贯一在 2026-05-23 16:42:37 发布自北京，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，破除各种障碍，优化资源分配，让科研信息充分流通

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: vermiller完成签到，获得积分10

刚刚; jjding完成签到，获得积分10

刚刚; hihi完成签到，获得积分10

1秒前; 0_1发布了新的文献求助10

1秒前; 欣喜的觅夏发布了新的文献求助50

1秒前; jfw发布了新的文献求助10

2秒前; 上官若男的应助被科研通管家采纳，获得10

2秒前; 丘比特的应助被科研通管家采纳，获得10

2秒前; 深蓝完成签到，获得积分10

2秒前; 乐乐的应助被科研通管家采纳，获得10

2秒前; SciGPT的应助被科研通管家采纳，获得10

2秒前; 我是老大的应助被科研通管家采纳，获得10

2秒前; chenjunyong17完成签到，获得积分10

3秒前; CodeCraft的应助被科研通管家采纳，获得10

3秒前; 一人完成签到，获得积分10

3秒前; Jimmy发布了新的文献求助10

3秒前; 飞0802完成签到，获得积分10

3秒前; JYNSC完成签到，获得积分10

3秒前; 隐形曼青的应助被科研通管家采纳，获得10

3秒前; 希望天下0贩的0上传了应助文件

3秒前; 情怀的应助被科研通管家采纳，获得10

3秒前; 传奇3上传了应助文件

3秒前; FashionBoy的应助被科研通管家采纳，获得10

3秒前; 英俊的铭的应助被科研通管家采纳，获得10

3秒前; Jasper的应助被科研通管家采纳，获得10

4秒前; miselling完成签到，获得积分10

4秒前; 金木研完成签到，获得积分10

4秒前; wanci的应助被科研通管家采纳，获得10

4秒前; hadern完成签到，获得积分10

4秒前; 无花果的应助被科研通管家采纳，获得10

4秒前; maxiaole的应助被科研通管家采纳，获得10

4秒前; 英俊的铭的应助被科研通管家采纳，获得10

4秒前; mini完成签到，获得积分10

4秒前; 科目三的应助被科研通管家采纳，获得10

4秒前; 852的应助被科研通管家采纳，获得10

5秒前; 小匹夫完成签到，获得积分10

5秒前; 乐乐的应助被科研通管家采纳，获得10

5秒前; Maho完成签到，获得积分10

5秒前; vampv的应助被科研通管家采纳，获得10

5秒前; 香蕉觅云的应助被科研通管家采纳，获得10

5秒前