Crystallographic and morphological characterization of reactively sputtered Ta, TaN and TaNO thin films

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标题	Crystallographic and morphological characterization of reactively sputtered Ta, TaN and TaNO thin films
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S004060909...
DOI	10.1016/s0040-6090(97)00319-2 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：Momtchil Stavrev; Dirk Fischer; Christian Wenzel; Kurt Drescher; Norbert Mattern 出版日期：2002-07-25
求助人	wuwuyu 在 2026-05-08 03:50:47 发布自湖北，悬赏 10 积分
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