ECR Etching of GaAs in Cl₂/N₂ and BCl₃/N₂

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标题	ECR Etching of GaAs in Cl₂/N₂ and BCl₃/N₂
网址	https://doi.org/10.1116/1.590216
DOI	10.1116/1.590216 doi
其它	High-density ICP etching of GaAs/AlGaAs in BCl₃/Cl₂/Ar
求助人	Mh 在 2026-06-08 21:36:42 发布自江苏，悬赏 10 积分
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