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 Phase shift effects of radio-frequency bias on ion energy distribution in continuous wave and pulse modulated inductively coupled plasmas 射频偏压对连续波和脉冲调制电感耦合等离子体中离子能量分布的相移效应
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期刊：Chinese Physics B 作者：Chan Xue; Fei Gao; Yong-Xin Liu; Jia Liu; You‐Nian Wang 出版日期：2018-04-01 |
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