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 Structural and tribomechanical properties of Cr-DLC films deposited by reactive high power impulse magnetron sputtering 反应大功率脉冲磁控溅射沉积Cr-DLC薄膜的结构和摩擦学性能
相关领域
高功率脉冲磁控溅射
材料科学
表面粗糙度
溅射沉积
偏压
溅射
分析化学（期刊）
摩擦学
离子
硅
表面光洁度
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薄膜
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化学
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期刊：Vacuum 作者：Jun Zheng; Jiale Shang; Wenjian Zhuang; Ji Cheng Ding; Haijuan Mei; et al 出版日期：2024-09-03 |
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keyantongaaa
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