Unintended gas breakdowns in narrow gaps of advanced plasma sources for semiconductor fabrication industry

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标题	Unintended gas breakdowns in narrow gaps of advanced plasma sources for semiconductor fabrication industry 半导体制造行业先进等离子体源窄间隙中的意外气体故障相关领域等离子体材料科学电场击穿电压电压降电压半导体意外后果等离子体处理下降（电信）原子物理学光电子学电气工程物理核物理学工程类法学量子力学政治学
网址	https://doi.org/10.1063/5.0172566
DOI	10.1063/5.0172566 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Sung Hyun Son; Geunwoo Go; Willca Villafana; Igor Kaganovich; Alexander V. Khrabrov; et al 出版日期：2023-12-04
求助人	合适夏天在 2025-05-22 14:41:29 发布自北京，悬赏 10 积分
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