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 Unintended gas breakdowns in narrow gaps of advanced plasma sources for semiconductor fabrication industry 半导体制造行业先进等离子体源窄间隙中的意外气体故障
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Sung Hyun Son; Geunwoo Go; Willca Villafana; Igor Kaganovich; Alexander V. Khrabrov; et al 出版日期：2023-12-04 |
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