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Wafer‐Scale High Mobility 2D Tellurium Thin‐Film Transistor for Heterogeneous Integrated 3D‐CFET Logic Circuits 用于异质集成3D-CFET逻辑电路的晶圆级高迁移率2D碲薄膜晶体管
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期刊:Small 作者:Yalun Tang; Yilong Song; Longhui Zeng; Yu‐Hwa Lo; Kenji Nomura 出版日期:2025-07-09 |
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