Novel embedded barrier layer materials for ArF non-topcoat immersion applications

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标题	Novel embedded barrier layer materials for ArF non-topcoat immersion applications 用于ArF非面漆浸渍应用的新型嵌入式阻挡层材料相关领域浸没式光刻材料科学沉浸式（数学）抵抗平版印刷术光电子学光刻图层（电子）复合材料工程物理纳米技术工程类数学纯数学
网址	https://doi.org/10.1117/12.805299
DOI	10.1117/12.805299 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Deyan Wang; Chunyi Wu; Cheng Bai Xu; George G. Barclay; Peter Trefonas; et al 出版日期：2008-11-20
求助人	QiaoMian 在 2025-10-27 00:40:33 发布自浙江，悬赏 20 积分
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