发布文献求助
求助中
  • 文献求助详情
标题
Extraction and identification of resist modeling parameters for EUV lithography
极紫外光刻抗蚀剂建模参数的提取与识别
相关领域
抵抗 极紫外光刻 光刻胶 平版印刷术 材料科学 校准 光刻 极端紫外线 光学 进程窗口 纳米技术 光电子学 物理 激光器 量子力学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1117/12.773122
DOI
10.1117/12.773122 doi
其它 期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者：Carlos Fonseca; Roel Gronheid; Steven Scheer
出版日期：2008-03-14
求助人
崽崽 在 2025-10-27 09:00:28 发布自江西，悬赏 20 积分
下载 暂无链接，等待应助者上传
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Quantitative measurement of EUV resist outgassing
  2. Stochastic defect generation depending on tetraalkylhydroxide aqueous developers in extreme ultravio...
  3. Extreme ultraviolet resist outgassing and its effect on nearby optics
  4. Contact photolithography modeling for thick photoresists layers
  5. Characterizing Surface Roughness Using the Extreme Ultraviolet
  6. Study on Fabrication Process Parameter Estimation by Visual Measurement
  7. Optical Devices for Extreme Ultraviolet
  8. Pulsed Plasma EUV Sources
  9. Research and application of thick photoresist lithography using UV light
  10. Application of Sub-resolution Assist Features in Photo Process
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 现在，等待您上传文献

  • 9小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    09:00:32 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    09:00:29 科研通AI机器人（广州）收到请求，开始寻找文献
    09:00:28 已向机器人发送请求

  • 9小时前

    崽崽 崽崽 Lv1 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
慕子完成签到 ，获得积分10
1秒前
FuTing的应助被yuki采纳，获得10
1秒前
2秒前
3秒前
柒柒发布了新的文献求助10
4秒前
FCH2023完成签到，获得积分10
4秒前
4秒前
5秒前
英俊的怀曼完成签到，获得积分20
5秒前
科研通AI5的应助被徐嘉鸿采纳，获得10
5秒前
5秒前
6秒前
7秒前
Tian发布了新的文献求助30
8秒前
浮游的应助被快乐的妙松采纳，获得10
8秒前
负责的烨霖完成签到，获得积分10
8秒前
semigreen完成签到 ，获得积分10
8秒前
9秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
9秒前
9秒前
9秒前
10秒前
章念波发布了新的文献求助10
10秒前
12秒前
Hello的应助被寒战采纳，获得10
12秒前
许丫丫完成签到，获得积分20
14秒前
迷人书蝶发布了新的文献求助10
14秒前
徐yy发布了新的文献求助10
15秒前
美好斓发布了新的文献求助50
15秒前
慕子默发布了新的文献求助10
15秒前
YG完成签到，获得积分10
16秒前
16秒前
17秒前
小蘑菇的应助被Tian采纳，获得10
17秒前
勤恳的若翠完成签到，获得积分10
18秒前
章念波完成签到，获得积分10
18秒前
19秒前
19秒前
慕子默完成签到，获得积分10
21秒前
21秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Einführung in die Rechtsphilosophie und Rechtstheorie der Gegenwart 1500
Binary Alloy Phase Diagrams, 2nd Edition 1000
青少年心理适应性量表(APAS)使用手册 700
Air Transportation A Global Management Perspective 9th Edition 700
Socialization In The Context Of The Family: Parent-Child Interaction 600
DESIGN GUIDE FOR SHIPBOARD AIRBORNE NOISE CONTROL 600
热门求助领域 （近24小时）
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 内科学 生物化学 物理 计算机科学 纳米技术 遗传学 基因 复合材料 化学工程 物理化学 病理 催化作用 免疫学 量子力学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 4990904
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4239640
关于积分的说明 13207664
捐赠科研通 4034323
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2207244
邀请新用户注册赠送积分活动 1218305
关于科研通互助平台的介绍 1136629
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通