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 Fast growth of crack-free thick AlN film on sputtered AlN/sapphire by introducing high-density nano-voids 高密度纳米空隙在溅射AlN/蓝宝石上快速生长无裂纹AlN厚膜
相关领域
材料科学
蓝宝石
位错
光电子学
纳米-
发光二极管
攀登
复合材料
二极管
光学
激光器
工程类
航空航天工程
物理
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| 其它 |
期刊：Journal of Physics D 作者：Chenguang He; Wei Zhao; Hualong Wu; Ningyang Liu; Shan Zhang; et al 出版日期：2020-05-29 |
| 求助人 | |
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