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 Blazed reflection gratings with electron-beam lithography and ion-beam etching 电子束光刻和离子束蚀刻闪耀反射光栅
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期刊：Space Telescopes and Instrumentation 2022: Ultraviolet to Gamma Ray 作者：Drew M. Miles; Randall L. McEntaffer; Fabien Grisé 出版日期：2022-08-31 |
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