Optimization techniques applied to initial designs of ultraviolet lithographic objectives

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标题	Optimization techniques applied to initial designs of ultraviolet lithographic objectives 应用于紫外光刻物镜初始设计的优化技术相关领域计算机科学全局优化光线追踪（物理）任务（项目管理）数学优化平版印刷术鞍点最优化问题点（几何）算法系统工程工程类数学光学物理几何学
网址	https://doi.org/10.17586/2226-1494-2019-19-6-1022-1030
DOI	10.17586/2226-1494-2019-19-6-1022-1030 doi
其它	期刊：Scientific and technical journal of information technologies mechanics and optics 作者：Nenad Zoric; Lowell S. Thomas; И. Г. Смирнова 出版日期：2019-12-01
求助人	cgl155410 在 2025-11-06 09:11:08 发布自广东，悬赏 10 积分
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